2D+3D复合式自动影像仪
型号: ISD-U系列
电动变倍镜头
可导入三维图档, 实现三维空间视图
影像和探针坐标系合并, 被测元素自动统一, 探针和影像可在同一个程序里运行
采用花岗岩平台、立柱及工作台, 稳定性高
采用双重闭环控制系统, 电机高速运动时定位精准
采用原装日本进口松下伺服电机
表面光由独立40组光源组成, 每一组均为恒流源驱动, 200级连续可调
X, Y, Z三轴伺服控制
| 型号 | 测量范围 | 精度 | 分辨率 | 重复性 | 最大承重 | 放大倍率 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| ISD-U322C | 300×200×200mm | 影像: ≤(2+L/200)µm; 探针: ≤(3+L/200)µm (L是测量长度, 单位mm) | 0.5μm | 1.5μm | 20kg | 36X~210X (在21.5''显示屏上) |
| ISD-U432C | 400×300×200mm | 影像: ≤(2+L/200)µm; 探针: ≤(3+L/200)µm (L是测量长度, 单位mm) | 0.5μm | 1.5μm | 30kg | 36X~210X (在21.5''显示屏上) |
| ISD-U532C | 500×300×200mm | 影像: ≤(2+L/200)µm; 探针: ≤(3+L/200)µm (L是测量长度, 单位mm) | 0.5μm | 1.5μm | 35kg | 36X~210X (在21.5''显示屏上) |
| ISD-U542C | 500×400×200mm | 影像: ≤(2+L/200)µm; 探针: ≤(3+L/200)µm (L是测量长度, 单位mm) | 0.5μm | 1.5μm | 35kg | 36X~210X (在21.5''显示屏上) |
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