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技术参数

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型号 精度 分辨率 X/Y轴行程 Z轴移动行程
ISD-TM215C ≤(2.5+L/50)μm 0.1μm 200×150mm 210mm
ISD-TM320C ≤(2.5+L/50)μm 0.1μm 300×200mm 210mm
ISD-TM330C ≤(2.5+L/50)μm 0.1μm 300×300mm 210mm
ISD-TM430C ≤(2.5+L/50)μm 0.1μm 400×300mm 210mm

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