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型号 精度 磁力 圆度
ISQ-16-025CE-M6 +1.25µm/-1µm —— 0.13µm
ISQ-16-025CE-M8 +1.25µm/-1µm —— 0.13µm
ISQ-16-025CE-M10 +1.25µm/-1µm —— 0.13µm
ISQ-16-025CE-M12 +1.25µm/-1µm —— 0.13µm
ISQ-16-BASE-M6 +1.25µm/-1µm 80Kgf 0.13µm
ISQ-16-BASE-M8 +1.25µm/-1µm 80Kgf 0.13µm
ISQ-16-BASE-M10 +1.25µm/-1µm 80Kgf 0.13µm
ISQ-16-BASE-M12 +1.25µm/-1µm 80Kgf 0.13µm

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